Возникла абсолютно такая же проблема - ошибка 500 internal server error при установке Drupal 6.22. Решалось удалением файла .htaccess - но это не дело, потому что переставали работать чистые ссылки... У меня конфликтовала следующая строчка в .htaccess (ее нужно было удалить):

# Follow symbolic links in this directory.
Options +FollowSymLinks

После удаления - все работает, и чистые ссылки тоже:)